CVD金剛石合成原理
微波等離子體化學(xué)氣相沉積法(MPCVD)是指在真空腔體中通入高純度的氫氣(H2)和甲烷氣體(CH4),氫氣在微波的作用下產(chǎn)生等離子體火球,甲烷氣體在等離子作用下打開(kāi)化學(xué)鍵變成了游離的碳原子(C)和氫原子(H),游離的碳原子在強(qiáng)大能量的等離子作用下逐步會(huì)沉積在腔體底部的金剛石種子上,使種子逐步長(zhǎng)厚最終形成與天然金剛石結(jié)構(gòu)成分完全一樣的CVD金剛石。